本系统采用深度学习与智能视觉检测技术,实现硅片缺陷的高精度自动检测。AI 在线学习不同产品特性,持续优化识别模型,不断提升检测准确率与稳定性。
系统配备 GPU 高速并行处理平台,支持高速在线检测,生产效率可达 6,000 片/小时以上,碎片率低于0.05%。
设备集成自动上下料功能,提供可量化的一致性判定标准,自动检测晶花百分率,并依据规则进行分级分类。
适用于 156 × 156 mm 至 210 × 210 mm,厚度 160–280 μm 的硅片检测,支持快速切换检测程序,满足多规格生产需求。
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